产品介绍/PRODUCTS
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Parker气体质量流量控制器
• 流量范围从0-5sccm到0-1000slpm(氮气)
• 设定点的响应时间不超过1sec
• 控制精度可达实际流量的1%
• I/O(输入&输出)可选模拟和数字信号
• 可实现本地/远程设置/显示
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